| 建設單位（用人單位） 名稱 |
江蘇中科漢韻半導體有限公司年產(chǎn)碳化硅功率器件等分立半導體器件5000片項目 | ||||||
| 建設單位（用人單位） 地理位置 |
徐州市新沂 | 建設單位（用人單位）聯(lián)系人 | 劉欽寶 | ||||
| 項目名稱 | 江蘇中科漢韻半導體有限公司年產(chǎn)碳化硅功率器件等分立半導體器件5000片項目職業(yè)病危害控制效果評價 | ||||||
| 項目簡介 | 租賃生產(chǎn)車間、倉庫和辦公樓等建筑面積合計9558.15平方米，購買碳化硅襯底/外延、各種貴金屬和特殊氣體等原輔材料，購置等離子體化學氣相淀積PCWD成膜機、物理氣相淀積成膜機、濺射機離子注入機、干法刻蝕機、濕法刻蝕機、酸堿有機清洗機、活性化激活退火爐、步進式/接觸式曝光機、涂膠顯影機、線寬測試臺、成品在線電學測試臺、背面減薄機、劃片機、CMP化學機械拋光機等主要生產(chǎn)設備，采用加工下料、清洗：光刻、刻蝕、鍍膜和測試等全自動化裝備的工藝流程，形成年產(chǎn)5000碳化硅功率器件等分立半導體器件項目。 | ||||||
| 項目組成員 | 樊玉江、祁勇、杜艷勤、朱艷秋、張晶 | ||||||
| 現(xiàn)場調查人員 | 杜艷勤、祁勇 | 調查時間 | 2021.3 | 建設單位（用人單位）陪同人員 | 劉欽寶 | ||
| 現(xiàn)場采樣、檢測人員 | 張晶、杜艷勤 | 現(xiàn)場采樣、檢測時間 | 2021.3.20-3.22 | 建設單位（用人單位）陪同人員 | 劉欽寶 | ||
| 現(xiàn)場調查、現(xiàn)場采樣、現(xiàn)場檢測的圖像影像 |   |
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| 建設項目（用人單位） 存在的職業(yè)病危害因素及檢測結果 |
化學因素：氨、氮氧化物、氯化氫、氟化氫、氫氧化鉀、過氧化氫、氯、硫酸、磷酸、氫氧化鈉、異丙醇、丙酮、乙酸丁酯。 物理因素：噪聲、高溫。 |
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| 評價結論與建議 | （1）該建設項目正常生產(chǎn)過程中產(chǎn)生和存在的主要職業(yè)病危害因素有：氨、氮氧化物、氯化氫、氟化氫、氫氧化鉀、過氧化氫、氯、硫酸、磷酸、氫氧化鈉、異丙醇、丙酮、乙酸丁酯、噪聲、工頻電場等。 （2）根據(jù)《建設項目職業(yè)病危害風險分類管理目錄（2021版）》（國衛(wèi)辦職健發(fā)[2021] 5號）和《國民經(jīng)濟行業(yè)分類》（GB/T4754-2017）對該建設項目的職業(yè)病危害風險類別進行判定，該建設項目屬于電子元件及電子專用材料制造。該建設項目的職業(yè)病危害風險分類為“嚴重”的建設項目。 |
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| 技術審查專家組 評審意見 |
修改通過 | ||||||
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江蘇中科漢韻半導體有限公司年產(chǎn)碳化硅功率器件等分立半導體器件5000片項目職業(yè)病危害控制效果評價
- 發(fā)布日期：2021-11-11 瀏覽量：
